中国光刻机: 从也曾最初到负重追逐的逆袭路

“就算给中国全套图纸，他们也造不出光刻机。”荷兰ASML公司的这句狠话，曾让不少东说念主感到闹心。但很少有东说念主知说念，中国并非一直过时，甚而在光刻机规模曾站辞天下前线。

时期回到1991年的北京展览馆，清华大学徐端颐西席团队研发的“自动瞄准分步投影光刻机”一亮相，就围满了好意思国、日本的众人。那时的中国光刻机本事，和西洋差距不到5年，领有透澈自主学问产权，通盘图纸、零件齐是我方措置的。而那时的ASML，还在行业里吃力抵御，远没到其后把持的地步。

可谁也没念念到，之后一股“造不如买，买不如租”的民俗推广开来。自主研发的脚步一停，即是整整二十年。这二十年里，ASML整合了民众5000多家供应商的资源，把光刻机作念成了包含10万多个零件的精密成立，靠着民众单干沿途狂飙，把持了高端商场。而中国的光刻机研发却出现了断代，等再次觉醒时，一经被甩开了几代东说念主的距离。

不外，中国莫得就此毁灭。当外部阻滞越来越严，自主研发再次被提上日程。这一次，咱们要走的是一条更难的路——从零运行构建圆善的原土供应链，而不是依赖民众单干。上海微电子（SMEE）这个名字，成了中国光刻机的但愿。

动作国内惟一能研发制造前说念光刻机的企业，上海微电子一步步站稳了脚跟。如今90纳米级别的光刻机一经结束范围化量产，国内商场份额跨越80%，年出货量能达到50台以上。更让东说念主昂然的是，28纳米浸没式光刻机也在2025年完成首台委派，当今一经批量供货，良指令会在95%，能知足大部分中低端芯片的分娩需求。

和ASML靠民众供应链攒出的顶级成立不同，中国走的是举国体制的自主蹊径。从福晶科技的光学晶体，到茂莱光学的物镜组，再到苏大维格的瞄准系统，咱们正在极少点搭建起我方的产业链。天然在开始进的EUV光刻机上还有差距，但在中低端规模，一经能知足汽车、耗尽电子等行业的需求。

有道理的是，ASML的高端光刻机也离不开中国。机器里用到的稀土材料，民众七成以上产自中国，加工才气更是遥遥最初；镓、锗等要道材料，中国供应量占民众九成多，这些齐是光刻机不行或缺的基础。2025年，ASML的首席财务官也承认，公司恒久离不开中国的稀土供应。

当今的中国光刻机，正在带着曩昔的缺憾负重前行。莫得民众供应链可依赖，就我方建；莫得老到本事可模仿，就我方闯。从徐端颐西席曩昔的自主攻关，到如今上海微电子的批量委派，中国光刻机走的每一步齐遏制易。

这条路能够漫长，但咱们一经看到了晨曦。当28纳米光刻机表露量产，当原土供应链不断完善，当更多企业加入研刊行列，坚信那句“给图纸也造不出”的狠话，终将被实践纰漏。中国光刻机的故事，不是从零运行的追逐，而是带着过往荣光的逆袭。